Rigaku Holdings Corporation（总部：东京昭岛；首席执行官：Jun Kawakami；以下简称“Rigaku”）旗下集团公司Rigaku Corporation凭借一种用于检测3D闪存缺陷的突破性无损检测方法，荣获Diana Nyyssonen纪念最佳论文奖（以下简称“该奖项”）。这项检测与测量技术（以下简称“该技术”）运用了超高分辨率X射线显微镜。
该奖项旨在表彰在国际光学工程学会(SPIE)先进光刻与图案化会议中，于测量、检测和过程控制领域发表最具影响力论文的团队。这些会议会发布应用于半导体制造的光刻技术的最新研究成果。
在3D闪存生产过程中，一个难题是对嵌入式金属结构以及被称为“存储孔”的极深孔的形状进行检测和测量。
Rigaku团队研发的这项技术利用X射线实现了超高分辨率，其检测极限是最先进光学显微镜的十分之一甚至更低。除了能够揭示纳米级的极细微结构，该技术还能对硅基片上形成的器件进行无损观测。正是这种解决方案的突破性，说服了会议主办方授予该奖项。
论文作者之一、X射线研究实验室总经理Kazuhiko Omote表示：“通过引入搭载这项技术的设备，3D闪存生产现场有望提高成品率并优化生产流程。Rigaku计划在大约两年内将这项技术投入实际应用。”
展望未来，Rigaku旨在利用这项技术追求更多创新成果，比如将其应用于多层器件连接部分的电导率检测和测量。
奖项公告详情
论文标题：利用超高分辨率X射线显微镜对3D闪存中的金属结构进行无损检测
网址：https://rigaku-holdings.com/pdf/Proc. of SPIE Vol. 12955 129551B.pdf
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